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会社沿革 |
製品の歴史 |
| 2007 |
神奈川県横浜市に横浜ラボラトリーを開設 |
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| 2006 |
ドイツのCarl Zeiss NTS社と共同開発・販売の戦略的業務提携を発表 |
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| 2005 |
SII NanoTechnology USA
Inc.が米国Radiant Detector Technologies, LLCおよびPhoton
Imaging Inc.よりX線検出器事業を譲受 |
FIB、SEM、Arイオンビームを搭載したトリプルビーム装置を世界で初めて商品化（SMI3000TBシリーズ） |
| 2005 |
本社を東京都中央区に移転 |
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| 2005 |
米国
カリフォルニアにSII NanoTechnology USA Inc.を設立 |
65nmノード対応のFIBによるマスク修正装置発売（SIR7000FIB） |
| 2004 |
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松下電器産業(株)様との共同開発により有害物質判定ソフトウェアを商品化（HS
Eaｓｙ） |
| 2004 |
中国
上海に精工盈司電子科技（上海）有限公司（現連結子会社）を設立 |
分解能4nmのFIBと高性能SEMの複合装置を商品化（SMI3000SEシリーズ） |
| 2004 |
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液化窒素レス検出器を採用した有害物質モニターを商品化（SEA1000A） |
| 2003 |
セイコーインスツル株式会社の科学機器事業を会社分割により
継承するとともに、科学機器の保守消耗品の販売を行う株式会社エポリードサービス）の株式を取得 |
分解能4nmの集束イオンビーム装置を商品化（SMI3000シリーズ） |
| 2003 |
エスアイアイ・マイクロスコープが商号をエスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社に変更 |
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| 2002 |
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90nmノード対応のFIBによるマスクリペア装置発売（SIR5000） |
| 2001 |
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世界で初めて75W高出力微小部膜厚計を開発、微小部対応を追究（SFT9300シリーズ） |
| 2000 |
セイコーインスツルメンツが小型プローブ顕微鏡の開発製造販売を目的に、当社の前身であるエスアイアイ・マイクロスコープ株式会社を設立 |
分解能5nmの走査イオン顕微鏡を商品化（SMI2000シリーズ） |
| 1999 |
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CCD検出器を搭載した多元素同時型ICP発光分光分析装置を商品化（SPS5000） |
| 1999 |
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小型で持ち運びが可能な蛍光X線分析装置を商品化（SEA200） |
| 1998 |
小山事業所ISO14001認証取得 |
多機能型SPMユニットを商品化（SPA-400） |
| 1998 |
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卓上小型プローブ顕微鏡を商品化（Nanopics） |
| 1997 |
セイコー電子工業が、商号をセイコーインスツルメンツ株式会社に変更 |
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| 1996 |
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0.18ミクロンデザインルールに対応したマスクリペア装置を商品化（SIR3000） |
| 1995 |
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熱分析システムEXSTAR6000シリーズを商品化 |
| 1995 |
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環境制御型SPMを商品化（SPA-300HV） |
| 1995 |
セイコー電子工業が、科学機器の製品の保守サービス・消耗品販売を目的に、株式会社エポリードサービス設立 |
走査型近視野原子間力顕微鏡（SNOAM）を商品化 |
| 1994 |
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分解能10nmのイオン顕微鏡を商品化（SMI9000シリーズ） |
| 1994 |
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微小部の蛍光Ｘ線分析装置で世界で初めて微小部50μmビームを実現（SEA5100） |
| 1992 |
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マイクロフォーカス管球を採用し世界で
初めて微小部φ50μmコリメータを実現（SFT3000シリーズ） |
| 1991 |
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原子間力顕微鏡(AFM)を商品化（SFA300） |
| 1991 |
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デュアルモノクロメータとAI機能を搭載した高速自動分析型ICP発光分光分析装置を商品化（SPS4000） |
| 1990 |
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多機能走査型プローブ顕微鏡（SPM）対応プローブステーションを商品化（SPI3600） |
| 1988 |
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自社開発の半導体検出器で、微小部対応の蛍光X線膜厚計を世界で初めて商品化（SFT8000） |
| 1987 |
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STMを日本で初めて商品化
（SAM3000） |
| 1987 |
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真空分光器を搭載したICP発光分光分析装置を商品化（SPS1200V） |
| 1986 |
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マルチタスク熱分析システムSSC5000シリーズを商品化 |
| 1986 |
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FIB分解能50nmのFIB断面加工観察装置を商品化（SMI8000シリーズ） |
| 1986 |
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電子技術総合研究所の指導の下、日本で初めてSTMを用いての原子像観察（NbSe2）に成功 |
| 1985 |
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集束イオンビーム（FIB）によるデポジション機能を用いた0.1ミクロンデザインルール対応の白欠陥修正専用機を商品化（SIR1000） |
| 1983 |
第二精工舎が、商号をセイコー電子工業株式会社に変更 |
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| 1980 |
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国産初のコンピュータ制御によるシーケンシャル型ICP発光分光分析装置を商品化（JY-38PⅡ） |
| 1979 |
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世界で初めて水平差動型TG/DTAを製品化（SSC560G、SSC560GH） |
| 1978 |
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マルチチャンネル型ICP発光分光分析装置を商品化（JY48P） |
| 1978 |
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放射性同位元素不使用で卓上型の微小部対応蛍光X線膜厚計を世界で初めて商品化（SFT155/156） |
| 1978 |
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世界で初めて熱分析装置にコンピュータ技術を導入（SSC560） |
| 1974 |
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断熱走査型微小熱量計を商品化（SSC510） |
| 1973 |
第二精工舎が、科学機器事業の製造拠点として静岡県駿東郡に小山事業所を設置 |
石油中の硫黄分析用の蛍光X線分析装置を商品化（SFA130） |
| 1972 |
第二精工舎が、分析・計測機器の製造販売を目的に、科学機器部を設置 |
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| 1971 |
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商品ラインとして、原子吸光分光光度計、熱分析装置、蛍光X線膜厚ラインゲージを開発 |
| 1970 |
第二精工舎が、ウォッチ以外の新規事業分野開発のため、社内にRDセンターを設置し、分析・計測機器事業分野（科学機器事業）の研究開発を開始 |
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| 1937 |
服部時計店の工場
精工舎のウォッチ部門を分離独立し、株式会社第二精工舎（現セイコーインスツル株式会社））を設立 |
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| 1881 |
服部金太郎が個人経営で時計小売業 服部時計店（現セイコー株式会社）を開業 |
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