エスアイア イ・ナノテクノロジー株式会社は、走査型プローブ顕微鏡システムの制御を行うプローブステーションの新製品、「NanoNavi（ナノナビ）」ステーションを8月1日より発売します。

走査型プローブ顕微鏡は、共振させた微小なプローブによって原子間力、固さ、電気、磁気力などの様々な物理量を検出し、ナノレベルでサンプル表面の形状観察や物性マッピングを行うことができるシステムです。ナノメートルオーダー以下の形状物性観察において、走査型電子顕微鏡に代わる新しい装置として注目されており、薄膜や材料の評価や加工などの必需品として、ナノテクノロジーの研究分野で用いられています。

当社は、1985年に走査型プローブ顕微鏡の研究・開発を開始、1987年に日本初の走査型トンネル顕微鏡を発売するなど、走査型プローブ顕微鏡システムの開発・販売に20年以上携わってきたリーディングカンパニーで、様々な測定ニーズに応える多種のラインナップをもつ総合走査型プローブ顕微鏡メーカーです。

今回発表された「NanoNavi」ステーションは、当社が長年にわたり培ってきた技術力とノウハウに基づき開発された新しいプローブステーションで、エスアイアイ・ナノテクノロジー製の多種のユニットを制御することが可能です。
また、従来のステーションからのバージョンアップにも対応しており、導入コストを抑えながら、クローズドループスキャナ、SISモード(＊1)などの最新機能を利用することが可能になります。

今後、当社の走査型プローブ顕微鏡は、システム制御の核である「NanoNavi」ステーションを中心としてさらなる製品開発を進め、走査型プローブ顕微鏡「NanoNavi」シリーズとしてブランド統合を図ってまいります。

【「NanoNavi」ステーションの主な特長】
• 最新のPC制御による使いやすさを前面に出した測定ナビゲーション機能
• 自動化を一段と加速させた多点自動測定・自動解析機能
• 従来測定のできなかったアスペクト比の高い、深い溝や狭い溝の測定やカンチレバーの消耗の軽減を可能にする独自のスキャン方式（SISモード）の採用
• 微小計測・微小加工の分野における精度の飛躍的な向上を実現したクローズドループスキャナ機能の付加

【価　格】 850万円より

【発売予定日】 2005年8月1日

【注記】
*1 SIS（Sampling Intelligent Scan）モード：データ取得時のみ探針を試料に接近させ、位置情報を取得するスキャン方法。本モードとカーボンナノプローブを組み合わせることにより、従来のプローブ顕微鏡では困難であった急峻な表面形状（ハイアスペクト形状）を正確に測定することが可能になります。探針磨耗の軽減においても優れています。

以上

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	SII ニュースリリース

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