| 概要 |
近年、走査電子顕微鏡に対しては、低加速電圧での超高分解能観察や、大電流分析と高分解能イメージの両立、更には低真空での観察分析等、さまざまな性能が要求されるようになっています｡これらの要求にたいして、GEMINIカラムテクノロジーは、1台でトータルソリューションを提供いたします｡
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| 特長 |
1.
低加速電圧域での超高分解能(1.7nm＠1kV/4.0nm＠100v：SUPRA55VP)
2. 高信頼性のショットキーFEフィラメントによる大電流(>20nA)と電流量の高安定性(<0.5％/h)
3. 100Vから30kVまで10Vステップ制御の加速電圧範囲
4. 複数の検出器画像を同時取り込み可能
5. 全ての機種にVP(低真空)モード対応機種がラインナップ
6. CCDカメラ画像による試料室内モニター機能。安全な試料移動が可能
7. 各種分析アクセサリーに対応(EDX、WDX、EBSP、CL)
8.多彩な検出器(SE1、SE2、BSE、VPSE、EBIC、STEM)
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