| 品名 |
FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置 |
| 型式 |
XVision 200DB
XVision 200TB
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| 概要 |
200mmウェーハから複数の小片サンプルまで、様々なアプリケーションに用いることのできる装置です。トリプルビーム装置は3つのビームが試料の同一位置に照射されるため、試料断面をSEMで観察しながら極低加速ArイオンビームでFIB下降中に生じたダメージを除去したり、数nmレベルの均一なミリングを可能にした世界唯一のシリーズです。 |
| 特長 |
1.
3軸直行座標系マイクロプローブ
直行座標系XYZ駆動アクチュエータの採用により操作性が向上しました。
2. TEM試料作製用連続自動加工ソフト
厚さ0.1µm±0.05µmの精度でTEM試料を自動で作製するソフトウェアです。
3. TEM試料作製用厚み管理ソフト
TEM試料作製における最終厚み管理を自動で行うソフトウェアです。
4. Cut&See Proソフト
複数点の断面加工・等間隔断面画像が無人で自動取得でき、各画面でのオートフォーカス／コントラストコントロールにも対応している3D構造解析用のソフトウェアです。
5. マルチガス銃システム
FIB照射と同時に特定ガスを吹き付け、化学特性を利用した加工を可能にするシステムです。
• カーボンデポジションガス
• タングステンデポジションガス
• プラチナデポジションガス
• 絶縁膜生成ガス
• 弗化キセノンエッチングガス
• 有機系エッチングガス
• 金属エッチングガス
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