デバイス観察／フォトマスクリペア

SIR5000 フォトマスクリペア装置 半導体デバイス用フォトマスクやレチクル上の欠陥をFIBによって修正する装置で、バイナリー及びハーフトーンマスクなどフォトマスク上の微小な欠陥や複雑な形状の欠陥を、高精度かつ低ダメージで修正する事が可能です。

SIR7000FIB フォトマスクリペア装置 半導体デバイス用フォトマスクやレチクル上の欠陥をFIBによって修正する、65nmノード対応の次世代装置で、バイナリー及びハーフトーンマスクなどフォトマスク上の微小な欠陥や複雑な形状の欠陥を、高精度かつ低ダメージで修正する事が可能です。

SPR6300 SPM型フォトマスクリペア装置 走査型プローブ顕微鏡の技術をフォトマスク欠陥修正に応用し、フォトマスク上の黒欠陥を、ダイヤモンド探針を用いて修正する装置です。これまで集束イオンビーム（FIB）やレーザーを用いた修正技術では難しいとされていた微小な異物の除去や孤立欠陥の修正を可能にしました。

SIR8000 液晶用フォトマスクリペア装置 液晶フォトマスク修正に半導体用フォトマスク欠陥修正装置に用いられるFIB修正技術を導入し、白欠陥、黒欠陥の両欠陥に対する高い修正精度を実現しています。FIBを用いたリペア装置としては初めて、第7世代以降のFPD大型フォトマスクへの対応しています。