ICP発光分光/質量分析
ICP質量分析装置 SPQ9600

品名

ICP質量分析装置

型式

SPQ9600

概要 コンパクト・オールインワンボディのICP質量分析装置です。90度偏光型イオンレンズ・9桁フルデジタルDDEM検出器を搭載し、環境試料や半導体関連素材をはじめとした材料中の極微量分析において、高い威力を発揮します。
特長 1. 高感度と優れた耐マトリクス性の両立を実現。
バックグランドの原因になるプラズマからの紫外光を完全にカットし、イオンの高透過率・低バックグランド、耐マトリックス性を高次元で実現しました。

2. 世界最高レベルの高感度を実現
90度偏光イオン光学系の採用により、世界最高レベルGcps(10億cps/ppm)の高感度分析と高マトリックス試料のルーチン分析を同時に実現しました。

3. オールデジタル検出器を搭載
アナログとデジタルの切り替え不要の9桁ダイナミックレンジを実現しました。操作性がよく、ppt〜数100ppmまでの高い直線性を実現できることに加え、データの信頼性が向上しました。

4. メンテナンスフリーのターボ分子ポンプを搭載
セラミックス製の軸受けを採用し、従来必要であった軸受けの定期的なメンテナンスが不要です。

5. オールインワンコンパクトモデル
真空ポンプ、高周波電源などを本体に内蔵し、コンパクトサイズで設置スペースを有効に利用することが可能です。
ICP質量分析装置 SPQ9600
 仕様
質量分析部
イオンレンズ                               90度偏光静電型 
質量分析計 四重極
質量範囲 3〜256amu
検出器 9桁フルデジタル DDEM検出器
高周波プラズマ発生部
周波数 27.12MHz
最大出力 1.6kW
オプション
• クリーンパック
• オートサンプラ
• 各種試料導入系
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