| 品名 |
ICP質量分析装置（CRI分子イオン低減機構搭載機） |
| 概要 |
新技術CRI（コリジョン
リアクション インターフェイス）を搭載することにより、ホットプラズマ条件でそれらの分子イオンの除去を実現し、高感度な分析を可能としています。上水、海水を初めとした環境試料の分析や、シリコンマトリックス中の不純物などの材料中の極微量分析において、高い威力を発揮します。 |
| 特長 |
1.
CRI（コリジョン リアクション インターフェイス）を搭載
サンプリング/スキマーコーンに設けられた反応ガス導入部分より、ヘリウムガスまたは水素ガスをプラズマに注入し分子イオンを衝突・反応により分解します。
それにより、以下の点を実現しています。
• 優れた分子イオン除去性能により、測定精度を向上させました。
• 腐食性ガスを使用する必要がありません。
• 複雑なイオンガイドやセルがないため、条件設定が簡単で、迅速な測定を行うことが可能です。
• CRIは反応セルを使用しないため、CRIモードとノーマルモードやガス種の切り替えを簡単・迅速に行うことができます。
2. 高感度と優れた耐マトリクス性の両立を実現
バックグランドの原因になるプラズマからの紫外光を完全にカットし、イオンの高透過率・低バックグランド、耐マトリックス性を高次元で実現しました。
3. 世界最高レベルの高感度を実現
90度偏光イオン光学系の採用により、世界最高レベルGcps(10億cps/ppm)の高感度分析と高マトリックス試料のルーチン分析を同時に実現しました。
3. オールデジタル検出器を搭載
アナログとデジタルの切り替え不要の9桁ダイナミックレンジを実現しました。操作性がよく、ppt〜数100ppmまでの高い直線性を実現できることに加え、データの信頼性が向上しました。
4. メンテナンスフリーのターボ分子ポンプを搭載
セラミックス製の軸受けを採用し、従来必要であった軸受けの定期的なメンテナンスが不要です。
5. オールインワンコンパクトモデル
真空ポンプ、高周波電源などを本体に内蔵し、コンパクトサイズで設置スペースを有効に利用することが可能です。
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