走査型プローブ顕微鏡（SPM）
環境制御型ユニット E-sweep

品名

環境制御型ユニット
型式

E-sweep
概要 大気中、真空中、溶液中など、様々な測定環境に対応した環境制御型プローブ顕微鏡（SPM）です。従来の様々な温度環境における物質表面の形状や物性の観察に加え、連続的に温度が変化する過程における表面物性の変化を定量的に評価する表面転移温度モニター機能を搭載しています。
特長 1. 大気・高真空・液中など様々な環境下に対応できます。また、光学系を大気下に配置し、環境変化に伴うカンチレバーの反りを常時調整可能としています。
2. スウィングキャンセル機構の採用により、試料部のゆらぎを徹底して減少させ、ドリフト量0.015nm/secレベルを達成しています。また、スムーズアプローチ機構により、アプローチ時の振動を極限まで低減し、接触時のプローブ先端のダメージを軽減しています。
3. ホルダーフランジ開閉機構の採用により、試料交換時のカンチレバーへの光学調整を不要としています。また、各機能ホルダーを共有化することで、環境を変えることなく、機能切替を可能としています。
4. 試料とシステムの熱膨張を常時監視し、エリアイン（測定可能領域）フィードバックすることで、プローブ先端を試料面に接触させたままでの物性計測を可能としています。
走査型プローブ顕微鏡（SPM） 環境制御型ユニット E-sweep
 仕様
検出系 光てこ方式
自己検知方式（オプション
走査系 X-Yクローズドループスキャナ（オプション）
分解能 原子分解能
ドリフト 0.015nm/sec以下
試料サイズ

最大25mmφ、厚み10mm
試料移動機構

X-Yステージ（5mm）
インパクトステージ（オプション）
温度制御（オプション） -120〜300℃（加熱冷却共有化）
RT〜800C°
真空排気系（オプション） 磁気浮上型ターボ分子ポンプ）250L/sec）
直結型ロータリーポンプ（250L/min）
光学顕微鏡（オプション） 金属顕微鏡（微分干渉対応）
光学顕微鏡
ズーム顕微鏡
簡易顕微鏡
走査範囲 20µm（標準）、150µm（オプション）
機能 AFM, FFM, DFM, PM（標準）
SIS, LM-FFM,VE, Adhesion, CURRENT, SSRM, SNDM, PRM, KFM, SMM, EC（オプション）
その他 温度スウィープマッピング機能（オプション）
レバー加熱機能（オプション）
湿度調整機能（オプション）
SISモード対応（オプション）　　
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