| 概要 |
ヒステリシス、クリープの影響の少ないクローズドループスキャナを搭載た走査型プローブ顕微鏡（SPM）ユニットです。新機能SISモード、カーボンナノプローブを組合わせることにより、ハイアスペクト形状を確実に測定できます。また、大型ステージを標準装備し、6インチ（8インチ）までの試料に対応できます。 |
| 特長 |
1.
ヒステリシス・クリープの影響のないクローズドループスキャナを搭載。測定箇所移動あるいはスキャン方向のローテーション直後でも歪みのない画像が得られます。
2. 新機能SIS（Sampling Intelligent Scan）モード、およびカーボンナノプローブを組み合わせることにより、従来のプローブ顕微鏡では困難であった急峻な表面形状を正確に測定することが可能になりました。ハイアスペクト形状の高精度計測に多大なる威力を発揮します。
3. 大型試料ステージを標準装備。150mmφまでの試料の全面観察が可能です（200mmφステージオプション）。
4. カンチレバー自動交換機能を搭載。測定ナビゲーションに従って操作するだけで、カンチレバーの位置合わせとセットができます。
5. レシピ登録による自動測定を実現。最大20箇所までの測定をそれぞれ別の条件で登録し、自動測定できます。ルーチンワークに最適です。 |
|
|
 |
