走査型プローブ顕微鏡
大型ステージユニット L-traceⅡ

品名	大型ステージユニット

型式

L-traceⅡ

概要	全自動多点測定が可能な6インチ（8インチ）まで対応可能な大型試料対応ユニットです。更にアキュレートスキャナと低コヒーレント光学系の採用により、ナノオーダーの形状をより正確に高い精度で計測します。

特長	1. 新型Accurate（アキュレート）スキャナによるZ直進エラーの低減化を実現し、左右側壁の角度差1°以下を実現しています。 2. 低コヒーレント型新光ヘッドによるS/N比向上と光ノイズの低減化を実現しています。 3. 熱源抑制効果による低ドリフト化（L-trace比較1/4以下）を実現しています。 4. ヒステリシス、クリープの影響の少ないクローズドループスキャナ標準搭載しています。 5. カンチレバー自動交換と探針の自動評価による操作性の向上を実現しています。

走査型プローブ顕微鏡（SPM）大型ステージユニット L-traceII

仕様

検出系	光てこ方式
光学系	低コヒーレント光学系
走査系	アキュレートスキャナ（高Z軸鉛直性）搭載 3軸センサー内蔵クローズドループスキャナ搭載
分解能	面内: 0.5nm　垂直: 0.01nm
試料サイズ	直径150mm（6インチ）、厚み22ｍｍ直径200mm（8インチ）、厚み12mm
試料移動機構	X: ±75mm Y: +105、-5mm Z: 22mm(6インチ）、12mm（8インチ）
光学顕微鏡	高倍モード:約270～1100倍（9インチモニタ－換算）、0.2～0.8mm（対角）低倍モード:約155～620倍（9インチモニタ－換算）、0.35～1.4mm（対角）
走査範囲	90µm
機能	AFM, FFM, DFM, PM（標準）　　　　　　　　　　　　　 SIS, LM-FFM, VE, Adhesion, CURRENT, SSRM, PRM, KFM, SMM（オプション）
その他	カンチレバー自動交換機構標準試料自動評価機能（オプション）　レシピ登録自動測定機能ＳＩＳモード対応（オプション）探針評価機能