| 概要 |
800µm角の広域スキャンが可能な、卓上小型プローブ顕微鏡です。除振機能を内蔵し、自己検知型カンチレバーの採用により、優れた操作性を持っています。各試料の極表面観察に最適です。 |
| 特長 |
1. SEM並みの高倍率から光学顕微鏡と同等の広範囲までの形状観察を実現し、さらに高さ方向の情報を明確に評価することができる小型の原子間力顕微鏡です。
2. 自己検知型カンチレバーとVCA・除振機構内蔵の観察ヘッドなど専用技術を使用し、装置を小型化・操作性向上を実現した原子間力顕微鏡です。
3. VCAの良好な直線性を生かし、全ての観察範囲を１つの駆動系で走査します。0.5μmから、AFMとしては最大の800μmの走査範囲を有します。
4. 微小部粗さ・段差評価機能を充実させた表面性状評価専用機です。
• ラインスキャン - 平面像中の任意の1ラインの形状をトレースします。データ点数2048点なので、微細構造までを詳細に表現することができます。ピッチ評価を行う際も、微分曲線を使用し、ヒューマンエラー軽減を図っています。
• リアルタイムクロスセクション表示 - 観察中に各ラインの断面形状と粗さパラメータを表示しますので概略形状を見ながらの条件だし・評価ができます。
5. 形状・走行距離から探針劣化管理ができます。
6. 観察条件パラメータを試料・目的毎に保存し、それを呼び出しての観察が手軽にできます。
7. 画像処理用ソフトウエアは形状・段差・粗さ評価・粒子解析など上位機種同等の機能を有しています。
|
|
|
 |
