| 検出系 |
光てこ方式
自己検知方式（オプション） |
| 走査系 |
X-Yクローズドループスキャナ（オプション） |
| 分解能 |
原子分解能 |
| 試料サイズ |
最大25mmφ、厚み10mm |
| 試料移動機構 |
X-Yステージ（5mm）
インパクトステージ（オプション） |
| 温度制御（オプション） |
-120℃〜RT
R.T〜300℃
RT〜800℃ |
| 真空排気系（オプション） |
磁気浮上型ターボ分子ポンプ）250L/sec）
直結型ロータリーポンプ（250L/min） |
| 光学顕微鏡（オプション） |
金属顕微鏡（微分干渉対応）
光学顕微鏡
ズーム顕微鏡
簡易顕微鏡 |
| 走査範囲 |
20µm（標準）、150µm（オプション） |
| 機能 |
AFM, FFM, DFM, PM（標準）
SIS, LM-FFM, VE, Adhesion, CURRENT, SSRM, SNDM, PRM, KFM, SMM, EC（オプション） |
| その他 |
湿度調整機能（オプション
SIS
モード対応（オプション） |
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