走査型プローブ顕微鏡（SPM）
多機能型ユニット SPA-400

品名

多機能型ユニット
型式

SPA-400
概要 多機能型ユニットSPA-400は、原子間力顕微鏡（AFM）・磁気力顕微鏡（MFM）を標準装備しています。オプションとして表表面電位（KFM）･マイクロ粘弾性（VE-AFM）･走査型トンネル顕微鏡（STM）などの多機能測定をカンチレバーホルダーの交換により簡単におこなうことができます。
特長 1. 剛性を大幅に強化したため振動や音に強く、安定した高分解能測定が可能です。
2. 光学顕微鏡（オプション）が一体化しサンプルの位置合わせもより簡単になりました。
3. 光軸調整のためのポジションモニタ、ワンタッチカンチレバーホルダの採用により、初めての方でも容易に測定できるようになりました。
4. 各種測定モード
• 原子間力顕微鏡（AFM）
• DFMモード
• フェーズモード
• コンタクトモード
• 横振動摩擦力顕微鏡（LM-FFM）
• 電気化学原子間力顕微鏡（EC-AFM）
• 磁気力顕微鏡（MFM）
• マイクロ粘弾性（VE-AFM）
• 摩擦力顕微鏡（FFM）
• マクスウェル応力顕微鏡（SMM）
• トンネル顕微鏡（STM）
• ケルビンプローブフォース顕微鏡（KFM）
多機能型ユニット SPA-400 （AFM/STM）
 仕様
検出系 光てこ方式
自己検知方式（オプション）
走査系 3軸センサー内蔵クローズドループスキャナ（オプション）
分解能 原子分解能
試料サイズ

最大35mmφ、厚み10mm
試料移動機構 X-Yステージ（5mm）
インパクトステージ（オプション）
光学顕微鏡（オプション） 金属顕微鏡（微分干渉対応）
光学顕微鏡
ズーム顕微鏡
簡易顕微鏡
走査範囲 20µm（標準）、150µm（オプション）
機能 AFM, FFM, DFM, PM（標準）
SIS, LM-FFM, VE, Adhesion, CURRENT, SSRM, SNDM, PRM, KFM, SMM, EC（オプション）
その他 レシピ登録自動測定機能
SISモード対応（オプション）
探針評価機能（オプション）
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