| 概要 |
大型ステージ搭載の走査型プローブ顕微鏡（SPM）ユニットです。装置剛性を徹底的に追求し、6 inch（8 inch）までの大型試料用でありながら従来の小型装置（SPA-400）に肉薄する分解能と多機能拡張性を実現したSPMユニットです。 |
| 特長 |
1. 初めて操作を行なう方でもビギナーズモードによりカンチレバー交換から画像処理、解析、印刷までの一連操作を簡単に行なうことができます。
2. 調整が面倒と見られているカンチレバー交換、レーザー調整を半自動化しました。
3. レシピ登録機能により、多点自動測定を可能にしました。1シートに最大20箇所までの測定を別条件で登録し自動測定できます。複雑なプログラム編集は一切不要です。
4. 各種測定モード: 原子間力顕微鏡（AFM）、ダイナミックフォースモード（DFM）、フェーズモード（PM)、磁気力顕微鏡（MFM）を標準装備、オプションでマイクロ粘弾性モード（VE-AFM）、横振動FFM（LM-FFM）、表面電位顕微鏡（KFM）、AFM/電流動時測定、AFM/CITSに対応できます。 |
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