※SISモード…Sampling Intelligent Scanモード。データ取得時のみ探針を試料に接近させ、位置情報を取得するスキャン方法。高アスペクト形状の測定に適しており、探針磨耗の軽減においても優れています。
当社独自のスキャン方法であるSISモード搭載により、従来測定が難しいとされていた、開口部の狭い（50nm以下）サンプルやアスペクト比の高いサンプルなど深い溝や狭い溝の測定が可能になりました。このＳＩＳモードとカーボンナノプローブとを組み合わせることにより高アスペクトサンプルへの対応が可能です。
高アスペクトサンプルの測定例
クローズドループスキャナ機能への対応により、従来補正をかけていた観察像の歪みの原因となるヒステリシス、クリープの影響を低減し、微小計測・微小加工の分野における精度の飛躍的な向上を実現しました。標準装備であるL-traceはもちろんのこと、従来の多機能型ユニット（SPA-400）をお持ちのユーザさまにも、オプション追加という形で搭載可能となっております。
最新のPC制御による測定ナビゲーション機能の搭載により、使いやすさが向上しました。 従来、自動カンチレバー交換機能搭載のステージつきユニットを中心に搭載していたこの機能をすべてのユニット上で使えるようになりました。 ナビゲーションウインドウに従って操作することで、専門知識を必要とせず、初めての方でも安定した測定が可能になります。装置準備からデータ保存印刷まですべての調整・設定が、マニュアルなしでナビゲーションされます。
レシピ測定機能により、スキャナの最大走査範囲内での多点自動測定が可能になりました。 ルーチンワークの測定でも条件設定後の再現性測定でも手間に感じず測定をおこなえるようになりました。色の調整から描画処理、解析、印刷に至るまでワンタッチで自動処理します。 また、解析ソフトウェアにおける機能も向上しました。とくにニーズの高まった多機能同時測定の画像解析のための、重ね合わせ解析機能や表示設定機能が新たに搭載され、格段に機能アップしたとともに操作に関しても使いやすさを追求しました。
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