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走査型プローブ顕微鏡(SPM)
SPM用語集
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SPM(走査型プローブ顕微鏡；Scanning Probe Microscope)
SPM（走査型プローブ顕微鏡）とは、試料表面に微小な
プローブ(探針)
を近づけて走査し、探針・試料間に働く物理量(トンネル電流、原子間力、摩擦力、磁気力等)を検出して、微小領域の表面形状観察および物性分析を行う顕微鏡の総称。代表的なSPMとして、
STM(走査型トンネル顕微鏡)
、
AFM(原子間力顕微鏡)
等がある。
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