走査型プローブ顕微鏡(SPM)

AFM(原子間力顕微鏡；Atomic Force Microscope)

AFM（原子間力顕微鏡）とは、カンチレバー先端の探針を試料表面に微小な力で接触させ、カンチレバーのたわみ量が一定になるように探針・試料間の距離を制御しながら走査することで、表面形状を画像化するSPM（走査型プローブ顕微鏡）の一種。