走査型プローブ顕微鏡(SPM)

	SPM用語集

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LM-FFM (横振動摩擦力顕微鏡；Lateral Force Modulation Friction Force Microscope)

LM-FFM（横振動摩擦力顕微鏡）とは、AFM（原子間力顕微鏡）動作中に摩擦力分布を測定する、SPM（走査型プローブ顕微鏡）の測定モードの一種。試料をY軸方向に横振動させ、このときのカンチレバーのねじれ振動振幅を画像化して、摩擦力の違いを分布像として得る。

【特徴】	◆形状からは判断できない材質の違いや混合物の分布状態を調べるのに有効。
	◆凹凸によるカンチレバーのねじれの影響が少なく、材質そのものの摩擦特性をとらえる。
	◆走査方向に依存しないため、回転角度を自由に設定できる。