スキャナとは、圧電素子を用いて、測定のために試料(あるいは探針)を走査させる機構。圧電素子の材料としては、セラミックスの一種であるPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)が一般に使用されている。
関連用語 ≫ 圧電素子、PZT、ヒステリシス、クリープ、チューブ型スキャナ、リニアライズ
