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SPM用語集 |
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圧電素子(Piezoelectric Device) |
圧電素子とは、電界を印加すると結晶がひずみ、逆に外力で結晶を強制的にひずませると電界が発生する、という圧電材料の特性を利用した素子。SPM（走査型プローブ顕微鏡）では前者の特性を利用し、試料(あるいは探針)を走査するスキャナに用いられている他、DFM（ダイナミック・フォース・モード）等でカンチレバーを振動させる機構にも用いられている。なお、圧電材料の特性である電界に対するひずみの割合を、圧電定数(ひずみ/電界：nm/V)と呼ぶ。
| 【特徴】 |
◆圧電素子の移動距離は、印加電圧ではなく注入した電荷量に比例する(クリープの原因)。 |
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◆圧電素子は内部抵抗の大きいコンデンサーと考えることができる。 |
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