カンチレバーとは、探針を取り付けてある板ばねの部分を示す。STM(走査型トンネル顕微鏡)以外のSPM(走査型プローブ顕微鏡)で使用するプローブの通称。厳密には片持ちバネ部分(下図・@)のことを指すが、本体部分(下図・A)と片持ちバネを合わせた機構全体のことを指す場合もある。当サイト内では、片持ちバネ部分をカンチレバーと記載する。