光てこ方式とは、カンチレバーの背面にレーザー光を照射し、反射光の位置の変化(光路の変化)を光検出器によって検出することにより、カンチレバーのたわみ量(DIF信号)やねじれ量(FFM信号)を捉える検出方法。カンチレバーを使用する(STM以外の)SPM（走査型プローブ顕微鏡）で一般に用いられている。この方式を用いた光ヘッド部の構造の模式図を以下示す。
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