
Fig.1 AFMピンセットの写真
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Fig.2 AFMピンセットの動作原理 |
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AFMピンセットは、ナノメータオーダーの試料を、把持し移動するツールです。Fig.1は開発中のAFMピンセットの写真で、Fig.2は動作原理図です。
下段左の図に示しているように、ピンセットの片側(Sensing Probe)のレバーをDFMモードで動作させ、試料の観察を行います。
ここで観察した像から、位置合わせを行います。次にピンセットのもう一方(Movable probe)のレバーの根元を通電加熱し、線膨張させこれを拡大して、
試料の把持を行います。 |
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| 関連文献: |
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•武川哲也,
中川和久, 橋口原, 斉藤真人, 山中啓一郎,民谷栄一: 電気学会論文誌 E IEEJ Trans.SM,
Vol.125, No.11, 2005 |
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