走査型プローブ顕微鏡（SPM）データギャラリー

LCDカラーフィルター

エスアイアイ･ナノテクノロジー株式会社

ジャンル	半導体・エレクトロニクス, 無機材料
モード	AFM
測定領域	400×400μm
ステーション	ナノピクス
装置	ナノピクス

　解説

Fig.1 フィルター境目の段差解析結果

ナノピクスは、自己検知カンチレバーと除振機構内蔵の観察ヘッドにより、操作性を向上した卓上小型のSPMです。走査型プローブ顕微鏡としては類を見ミない800×800μmまでの広域観察が可能なため、RGBのLCDカラーフィルターのような形状も1画面で捉え、段差などの解析を行うことができます。
この図は解析プログラムでフィルター境目の段差を評価した事例です。