走査型プローブ顕微鏡（SPM）データギャラリー

水晶振動子電極部膜厚/めっき表面粗さ

エスアイアイ･ナノテクノロジー株式会社

ジャンル	半導体・エレクトロニクス, 無機材料
モード	DFM
測定領域	80μm
ステーション	ナノピクス
装置	ナノピクス

　解説

Fig.1 水晶振動子金電極の観察結果

Fig.2 段差解析、粗さ解析結果

ナノピクスによる水晶振動子金電極膜厚と電極面粗さ評価の事例を紹介します。Fig.1は、水晶振動子金電極の80μmの観察結果と、そこからズームして観察した3μmでの表面形状像です。Fig.2はJISB0601に準拠した段差解析、粗さ解析の結果です。膜厚は一般のプロファイラー同様に上面・底面各2点間の平均値から算出しています。このグラフでは、電極部膜厚：75nm、粗さパラメータ：Ra:3.85nm、RMS:3.85nmという結果が得られています。　　