走査型プローブ顕微鏡(SPM)データギャラリー
Sn-Cuめっき
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
ジャンル
半導体・エレクトロニクス, 無機材料
モード
DFM
測定領域
10 x 10μm
ステーション
ナノピクス
装置
ナノピクス
解説
Fig.1 SN-Cuめっき表面の観察
ナノピクスは、自己検知カンチレバーと除振機構内蔵の観察ヘッドにより、操作性を向上した卓上小型のSPMです。光学顕微鏡などで観察できる 範囲から、徐々に観察範囲を絞り、微細部の形状・粗さの評価を行うことが可能です。