走査型プローブ顕微鏡（SPM）データギャラリー

ボールベアリング外輪レース面

エスアイアイ･ナノテクノロジー株式会社

ジャンル	その他, 無機材料
モード	AFM
測定領域	20μm
ステーション	ナノピクス
装置	ナノピクス

　解説

Fig.1 ボールベアリング外輪レース面の断面解析結果

ナノピクスは、自己検知カンチレバーと除振機構内蔵の観察ヘッドにより、操作性を向上した卓上小型のSPMです。この画像は、ボールベアリング外輪レース面を観察した結果と断面形状の解析結果です。研磨用砥石、方法によって、レース面溝加工形状が異なってきますが、ナノピクスでは、このような加工形状の違いを800μmという光学顕微鏡観察レベルから500nmまで絞り込んだ観察まで、手軽に行うことが可能です。