走査型プローブ顕微鏡（SPM）データギャラリー |
エスアイアイ･ナノテクノロジー株式会社 |
| ジャンル |
半導体・エレクトロニクス, 無機材料 |
| モード |
ベクター加工 |
| 測定領域 |
1μm |
| ステーション |
SPI3800N |
| 装置 |
SPA-300
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| 解説 |
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大気中で、導電性のAFM探針をシリコン基板に接触させ、探針に電圧をかけながら特定パターンのみ走査すると、探針と基板の間に流れる微小電流と、
その部分に存在する吸着水の効果で、水の電気分解による陽極酸化反応が生じ、酸化物のパターンを作ることができます。近年、このようなナノリソグラフィ
の手法は、プローブ記録や新たなデバイスの作製法として注目されています。
Fig.1(a)は、陽極酸化を行う前のシリコン基板表面をAFM観察した写真です。標準で搭載されているベクター加工というツールを使って、「SII」という文字
パターンを陽極酸化によりパターニング（印加電圧は3〜5V程度）し、その後で同じ場所をAFM観察した写真がFig.1(b)です。(１)
なお、タイトル画像の動画は、NanoNaviの
新機能<形状像と物性像の重ね合わせ>を応用して作成したもので、このように加工前後のSPM画像を
重ね合わせることも可能です。この動画からも、ほとんど加工された領域のみが変化していることがわかります。
このデータをモチーフにした作品を、2001年トライボロジー会議
トライボアートコンテスト に出品いたしました。 |
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| 引用文献： |
| (1) |
山岡武博: "走査型プローブ顕微鏡の基礎と応用", 材料技術, 23（2005)211. |
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