走査型プローブ顕微鏡（SPM）データギャラリー |
エスアイアイ･ナノテクノロジー株式会社 |
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| 解説 |
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MFMは試料表面の漏れ磁界分布を画像化するSPM（走査型プローブ顕微鏡）のひとつです。磁性コート探針と磁性体試料に作用する磁気力（勾配）
を画像化しています。従来からある磁区観察法に比べて、大気中で高分解能な磁区観察を、試料の表面形状観察と同時に行えるのが特徴です。Fig.1のような
磁気ヘッド等の測定では、記録ポールやシールド層などの磁性体部分が明るく、非磁性部分が暗く表示されます。磁性体部分には縞状あるいは幾何学的な模様
（磁区）が観察されています。
Fig.2はNanoNaviの新機能<形状像と物性像の重ね合わせ>
を使った画像です。形状の特徴と磁気特性を1つの画像で見ることができるようになりました |
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