走査型プローブ顕微鏡（SPM）データギャラリー |
エスアイアイ･ナノテクノロジー株式会社 |
| ジャンル |
ストレージ, 半導体・エレクトロニクス, 無機材料 |
| モード |
KFM |
| 測定領域 |
3.5μm |
| ステーション |
SPI3800N |
| 装置 |
SPA-300 |
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| 解説 |
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KFMは、ケルビン法を用いたナノスケールの表面電位顕微鏡です。DFMによる形状測定を行いながら、同時に導電性カンチレバーと試料の間に交流及び直流の電圧を印加し、
カンチレバーからの出力信号をロックインアンプで周波数成分に分離し、DFM動作周波数（ωｒ）成分を利用して形状測定を行い、また印加した交流電圧の周波数（ω）
成分を利用して、同じ場所での表面電位を検出しています。
CD-RWやDVD-RAMのような相変化ディスクでは、もともと結晶状態の記録膜（AgInSnTe、GeSnTeなど)にレーザーでマーキングを行った部分がアモルファスになるため、
光学特性や表面電位、導電率などの物性が変化します。ここではKFMにより、DVD-RAMの記録マークを観察した結果を紹介します。左の写真の左側はKFMモードで測定した
表面形状像、右側は同時測定した表面電位像です。記録マーク部分が明るく、電位が高いことがわかります。(1） |
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| 引用文献： |
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T. Nishimura,
M. Iyoki and S. Sadayama: "Observation of recording pit
on phase-change film using a scanning probe microscope",
ultramicroscopy, 91(2002) 119 |
| 関連文献： |
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アプリケーションブリーフ
No.13 |
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