走査型プローブ顕微鏡（SPM）

走査型プローブ顕微鏡 原理解説

走査型プローブ顕微鏡（SPM）は、プローブ（探針）と試料間に作用するさまざまな物理量を検出し、微小領域の表面形状や物性を測定する顕微鏡の総称です。その測定モードは、基本モードと、そこから派生した様々な物性マッピングが可能な多機能モードの二つに大別することができます。

ここでは、SPMの最も基本的なモードである、走査型トンネル顕微鏡（STM）、原子間力顕微鏡（AFM）、ダイナミック・フォース・モード（DFM）について説明します。

多機能モードの原理解説