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走査型プローブ顕微鏡各種モード原理解説 |
走査型プローブ顕微鏡（SPM）は、プローブ（探針）と試料間に作用するさまざまな物理量を検出し、微小領域の表面形状や物性を測定する顕微鏡の総称です。その測定モードは、基本モードと、そこから派生した様々な物性マッピングが可能な多機能モードの二つに大別することができます。
SPMの多機能モードは、表面形状の観察だけではなく、摩擦や粘弾性のような機械的物性イメージング、電流や磁気力などの電磁気物性イメージング等を可能にします。
ここでは、それらの代表的なモードについて説明します。
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油膜（摩擦像）
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強誘電体（電流像） |
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ブロックPP（粘弾性像）
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ガーネット（MFM像） |
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