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参考文献リスト |
【2006年】
論文 |
備考 |
K. Sato, T. Yamamoto, T. Tezuka, T. Ishibashi, Y. Morishita, A. Koukitu, K. Machida, T. Yamaoka: "MFM observation of spin structures in nano magnetic dot arrays fabricated by damascene technique"; J. Magn. Magn. Mater.304 [1] (2006) 10-13.
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東京農工大学佐藤研究室, NHK放送技術研究所との共同研究。十字形, Y字形のナノスケール磁性体の環境制御SPM "E-sweep" を使用した高分解能MFM観測と磁区構造の研究に関する。
<関連情報>
アプリケーションブリーフ No.49
アプリケーションブリーフ No.58
SPMギャラリー No.19 |
| T. Yamaoka, E. Saitoh , K. Watanabe, Y. Shirakawabe and H. Miyajima: "Magnetic Domain Wall Manipulation using MFM Probe", The 16th International Microscopy Congress(IMC16), Abstracts（2006）782. |
The 16th International Microscopy Congress(IMC16), September 3-8, 2006, Sapporo, JAPAN.での発表予稿。 環境制御SPM "E-sweep" を使用したMFM探針による磁壁のマニピュレーションに関する。
<関連情報>
SPMギャラリー No.24
ICM16発表・出展情報 |
| T.Nishimura, M.Yasutake, K.Watanabe, S.Wakiyama; "CRITICAL DIMENSION MEASUREMENT USING NEW SCANNING MODE AND ALIGNED CARBON NANOTUBE SPM TIP",The 16th International Microscopy Congress(IMC16), Abstracts（2006）. |
CNT探針を使用した, 高アスペクト比SiパターンのSISモードによる測定の有効性について論じた。大型ステージユニットL-traceの使用。
<関連情報>
SPMギャラリー No.19
ICM16発表・出展情報 |
| Y.Saito, M.Motohashi, N.Hayazawa, M.Iyoki, S.Kawata : "Nanoscale characterization of strained silicon by tip-enhanced Raman spectroscope in reflection mode", Appi. Phys. Lett. 88, 143109(2006) |
反射型の近接場光学顕微鏡（NSOM）を用いたTERS(Tip-enhanced Raman spectroscopy)測定により, ナノスケールでの歪みシリコンの特性評価を行った。 |
| 岩佐真行, "温度制御型SPMによる高分子材料観察", プラスチックス, Vol.57, No.7（2006）, 22-26 |
E-sweep＋温度制御システムによる, 高分子材料の観察事例として, ①ポリ乳酸（土肥先生, 吉川様ご提供）, ②PET, ③PPブロックコポリマーの観察事例を紹介。
<関連情報>
SPMギャラリー No.6
SPMギャラリー No.7
SPMギャラリー No.14 |
| 岩佐真行, "環境制御型SPMによる電子材料／デバイスの測定技術", 月刊トライボロジー, No.231（2006）, 40-43 |
E-sweepを用いて, 真空中で電気計測（SNDM, 電流測定）することの有効性と, 温度スウィープFFMによるレジスト材料の軟化点検出について説明。
<関連情報>
SPMギャラリー No.6
SPMギャラリー No.7
SPMギャラリー No.14 |
| 岩佐真行, "走査型プローブ顕微鏡の半導体デバイス分野への応用", 応用物理学会分科会シリコンテクノロジー学会誌, No.88（2006）, 6-10 |
「レジストLine Edge Roughnessの課題」に関する研究会。SIINT技術として, （1）L-traceⅡによるハイアスペクト形状計測（SIS, CNT, クローズド・アキュレイトスキャナ）, （2）温度スウィープFFM測定によるレジスト材料の軟化温度検出, の紹介。
<関連情報>
SPMギャラリー No.6
SPMギャラリー No.7
SPMギャラリー No.14 |
| 完山正林・柳原佐知子・辻川葉奈・高橋春男・岩崎浩二・藤井利昭: "トリプルビーム装置を用いた低ダメージTEM試料作製",LSIテスティングシンポジウム2006会議録,109-114. |
FIBで作製された低ダメージ試料の表面をNanoNavi/E-sweepで観察し, 高精度な形状観察および粗さ評価を行い, FIBによるトリプルビーム装置とSPM解析の有効性を示した。 |
| 西村敏哉："走査型プローブ顕微鏡における探針磨耗および試料ダメージの低減技術", 月刊トライボロジー, No.228（2006）, 23-25 |
SISモードとCNT探針による, 探針磨耗に対する有効性を解説した。
<関連情報>
SPMギャラリー No.19 |
| 山岡武博， "MFMの応用展開～ナノスケール磁性体の磁区観察の話題を中心として"， 電子情報通信学会技術研究報告 IEICE Technical Report Vol. 105 No.531 （2006） 1-6 |
マルチメディアストレージ研究会 コンシューマエレクトロニクス研究会の招待論文。 環境制御SPM "E-sweep" を使用。高分解能MFM, 磁場印加MFMなどによるアプリケーション紹介。
<関連情報>
アプリケーションブリーフ No.48
アプリケーションブリーフ No.56
アプリケーションブリーフ No.58
SPMギャラリー No.17
SPMギャラリー No.28
SPMギャラリー No.29 |
山岡武博・荻本泰史・渡辺耕輔・小嶋邦男・片山博之: "Ｎ型フェリ磁性記録マークにおける磁束反転の温度制御MFM観察",日本応用磁気学会誌, Vol.30, No.4 (2006) 472-475.
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温度制御MFMによる熱アシスト記録ビットの観察に関する。環境制御SPM "E-sweep" 使用。
<関連情報>
SPMギャラリー No.31 |
山本 尚弘, 町田 賢司, 山岡 武博, 石橋 隆幸, 佐藤 勝昭： "ダマシン法によるY字型Ni80Fe20構造規則配列の作製と磁気的評価", J. Magn. Soc. Jpn., 30, 162 (2006) .
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東京農工大学佐藤研究室, NHK放送技術研究所との共同研究。十字形, Y字形のナノスケール磁性体の環境制御SPM "E-sweep" を使用した高分解能MFM観測と磁区構造の研究に関する。
<関連情報>
アプリケーションブリーフ No.49
アプリケーションブリーフ No.58
SPMギャラリー No.28
SPMギャラリー No.29 |
北島 慎太郎, 鄭 先怜, 山田 武, 吉田 博久, 岩佐 真行, "両親媒性ブロック共重合体が形成するナノ構造体中の相転移挙動のAFMによる直接観察", 第42回熱測定討論会 講演要旨集 （2006）, 116-117 |
首都大学東京吉田研究室との共同実験。 両親媒性ブロック共重合体（PEOm-b-PMA(Az)n）の相転移挙動を、加熱下で直接観察。 環境制御型SPM”E-sweep”を使用。 |
| Shintaro Kitajima, Jung SunYoung, Takeshi Yamada, Hirohisa Yoshida, Masanori Iwasa, "NANO-SCALE PHASE TRANSITION WITHIN HYDROPHILIC CYLINDER FORMED BY AMPHIPHILIC DI- BLOCK COPOLYMER", Asian coference on Nanoscience & nanotechnology abstract book (2006), 197-198 |
首都大学東京吉田研究室との共同実験。 両親媒性ブロック共重合体（PEOm-b-PMA(Az)n）の相転移挙動を、加熱下で直接観察。 環境制御型SPM”E-sweep”を使用。 |
| Y.Saito, M.Motohashi, N.Hayazawa, M.Iyoki, S.Kawata : "Nanoscale characterization of strained silicon by tip-enhanced Raman spectroscope in reflection mode", Appi. Phys. Lett. 88, (2006) 143109. |
反射型の散乱型NSOMを用いたTERS(Tip-enhanced Raman spectroscopy)測定により、ナノスケールでの歪みシリコンの特性評価を行った。 |
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