| 品名 |
コンベンショナル/Variable
Pressure SEM |
| 概要 |
1965年に世界最初にSEMを商品化して以来、新しくラインナップに加わるEVOシリーズはクラス最高の高分解能と多彩なアプリケーションに対応します。 |
| 特長 |
1.
新設計の電子光学系による高分解能イメージ
2. 大型試料対応(250mmφ)のチャンバー
3. 拡張された真空レンジ(低真空モード)
(EVOシリーズXVP:〜750Pa/EVOシリーズEP:〜3000Pa)
4. XVP/EPでは試料をWet状態のまま観察可能
5. 画像をその場でAVIファイル化。その場観察が即ムービーに
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