透過型電子顕微鏡/走査型電子顕微鏡
コンベンショナル/Variable Pressure SEM EVOシリーズ

品名

コンベンショナル/Variable Pressure SEM

型式

EVOシリーズ

概要 1965年に世界最初にSEMを商品化して以来、新しくラインナップに加わるEVOシリーズはクラス最高の高分解能と多彩なアプリケーションに対応します。
特長 1. 新設計の電子光学系による高分解能イメージ
2. 大型試料対応(250mmφ)のチャンバー
3. 拡張された真空レンジ(低真空モード)
(EVOシリーズXVP:〜750Pa/EVOシリーズEP:〜3000Pa)
4. XVP/EPでは試料をWet状態のまま観察可能
5. 画像をその場でAVIファイル化。その場観察が即ムービーに
カール ツァイス:コンベンショナル/Variable Pressure SEM EVOシリーズ
 仕様
 EVOシリーズ共通仕様 
分解能 3.0nm
加速電圧 0.2〜30kV
倍率 7〜1.000.000X
真空レンジ XVP:1〜750Pa
EP:1〜3000Pa
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