透過型電子顕微鏡/走査型電子顕微鏡
NVision 40 FIB-SEMダブルビーム装置　

品名	高分解能FIB-SEMダブルビーム装置

型式	NVision 40

概要	100mm以下の試料に対応したラボ用の装置として、材料分析、半導体、ライフサイエンスなど広い分野で最先端の研究開発に利用することを想定して設計された、Carl Zeiss社との共同開発製品です。Carl Zeiss社製SEM鏡筒とSIIナノテク製FIB鏡筒の組み合わせにより、高スループットかつダメージが少ない高品位TEMサンプルの作製を実現します。

特長	1. 極低加速領域（1kV以下）での高分解能SEM観察 2. FIB加工中のリアルタイム高分解能SEM観察 3. 低加速FIBによるTEM試料のダメージ低減 4. 多種類の標準装備検出器（チャンバーSE検出器、InLens SE検出器、EsB反射電子検出器） 5. マニピュレーター、STEM、EDS、EBSD等のオプション搭載可能

FIB-SEMダブルビーム装置 NVision 40

仕様

標準装置検出器	In-Lens SE 検出器チャンバーSE検出器 EsB反射電子検出器
試料ステージ	6軸モーターユーセントリック
XxYxZ	100x100x43(mm)、Z':10mm
傾斜	-10°～60°
回転	360°無段階
電子ビーム（Gemini FE-SEM）
分解能	1nm@20kV、2.5nm@1kV
倍率	30x-900kx
加速電圧	0.1-30kV
電流量	4pA-20nA
エミッター	サーマルFEタイプ
集束イオンビーム（FIB）
分解能	4nm@30kV
倍率	475x-500kx
加速電圧	5-30kV（1-5kV)
電流量	<0.1pA-45nA
エミッター	ガリウムイオン源