Fig.1 Superposition of topography and Current image |
Fig.2 IV curve
Red line: Crystal part
Black line: Amorphous part |
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相変化ディスクの記録マークをConductive AFMで観察することが可能です。一般に物質を融点以上に加熱して急冷するとアモルファス（非晶質）となり、このアモルファス
相を結晶化温度以上に熱し徐冷すると結晶化が起きます。相変化ディスクは、アモルファス/結晶の状態の違いをうまく利用して記録・再生を行っています。記録膜として
AgInSnTeを使ったCD-RWや、GeSnTeを使ったDVD-RAMなどの相変化ディスクがあります。
相変化ディスクの記録マークであるアモルファス部分は電気を通さず、周囲の結晶部分は電気を通すことを利用し、Conductive
AFMで記録マークの観察を行いました。 タイトル画像は導電性探針と試料の間に1Vの電圧を印加しながら測定したCD-RWの形状像（左側）と電流像（右側）です（測定領域：6μm）。Fig.1は、1つの記録ビットをズーム
して測定したものです（測定領域：3×1.5μ;m）。NanoNaviの新機能<形状像と物性像の重ね合わせ>を使った画像を動画で表示しています。Fig.2は結晶部分とアモルファス
部分の電流-電圧特性（IV特性）を示しています。結晶部分はグラフ中の赤線で示され、電圧を大きくすると電流も増加しています。アモルファス部分は電気を通さず、グラフ中の
黒線のようになります。このような評価方法は、ブルーレイ・ディスクなどにも有効な方法です。 (1） |
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| 引用文献： |
| (1) |
山岡武博：”走査型プローブ顕微鏡の基礎と応用”、材料技術、23 （2005） 211. |
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